光伏产业带来机会，国产太阳能电池设备成功抢滩

    中国电子科技集团第四十八研究所副所长 王俊朝

    光伏产业涵盖了太阳光能转化为电能的一系列过程，而装备是贯穿整个产业链的基础，光伏产业链的每一个环节都离不开相应的生产设备。目前，我国光伏装备产业已具有一定的规模和水平，可为产业的发展提供强有力的支撑。随着国家对新型可再生能源发展的重视，作为产业基础支撑和中国光伏产业竞争利器之一的光伏装备将随着产业的发展而不断发展壮大。

    国产设备可部分替代进口

    正如微电子产业的核心是集成电路制造，太阳能光伏产业链除前道的硅材料提纯、硅片加工和后道的组件及应用系统生产外，最核心关键的环节为太阳能电池制造，它的具体工序包括：清洗、制绒—扩散—刻蚀—减反射膜制备—电极印刷—低温烘干—高温烧结—自动测试分检等。

    依靠我国半导体设备行业数十年来的技术积累，通过和一流光伏电池企业的深度合作，经过连续多年的不懈努力，我国光伏设备企业目前已基本具备太阳能电池制造设备的整线装备能力。在目前国产设备及进口设备混搭的主流建线方案中，国产设备在数量上已占多数，但价值上则不及价格昂贵的进口设备。国内目前的生产线绝大多数为125mm×125mm单晶电池生产线，只有少数大厂如无锡尚德等具备156mm×156mm多晶电池的批量生产技术及能力。

    目前国内厂商可提供10种太阳能电池大生产线设备中的8种，其中有6种(扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒机、石英管清洗机、低温烘干炉)已在国内生产线占据主导地位，2种(管式PECVD、快速烧结炉)和进口设备并存但份额在逐步增大。而全自动丝网印刷机、自动分检机、平板式PECVD等3种设备在近期内尚需完全依赖进口，但相应国产装备推出的日子已为期不远。国产设备中的部分产品如扩散炉、等离子刻蚀机等不仅广受国内客户的认可，也以优良的性能价格比和良好的可靠性受到国外客商的青睐，开始少量出口供货。

    关键的6种电池制造工艺设备中，国产设备的技术水平如下：

    扩散炉、等离子刻蚀机、清洗/制绒设备：达到或接近国际先进水平，性价比优势十分明显，占据了国内大部分市场。用于多晶电池绒面制作的制绒机与进口产品有一定差距，尚没有用于周边刻蚀的激光刻阻机及湿法化学刻蚀设备。

    PECVD：管式PECVD设备因其产能问题的解决和更好的成膜质量已呈现与平板型PECVD分庭抗礼之势，开始批量进入大生产线，国产设备近期在工艺应用上又取得了新的进展，整体工艺效果直逼国际著名厂家产品，受到越来越多的客户欢迎，份额正进一步扩大，成为产业应用的主流设备指日可待，国产平板型PECVD设备的研制也正在紧锣密鼓地进行。

    高温烧结炉：与国际水平有一定差距，但差距不大，近来也取得了可喜的进步，部分高端产品开始在大线使用，应用效果良好。

    丝网印刷机：全自动多印刷头产品正在研发中，关键技术已取得突破，整机进入市场且被用户接受尚需一段时间，手动和半自动产品无法进入主流大生产线。

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